Enjeux du projet

Trouver une formule optique répondant aux exigences poussées du cahier des charges, en prenant en compte la facilité de fabrication des lentilles et de leur assemblage. Faire un tolérancement poussé de la solution optique une fois celle-ci trouvée pour étudier sa robustesse et ainsi savoir si elle est réalisable.

Prestation fournie par Sophia Conseil

Le Pôle Optique et Détection a assumé grâce ses ingénieurs la définition d’une solution optique répondant au cahier des charges par :

  • La conception de la formule optique sous CODE V et Zemax
  • La prise en compte de la biréfringence des matériaux
  • Le tolérancement complet de la formule optique sous CODE V (polissage) et Zemax (erreurs de mesures, erreurs de formes, réoptimisation pour compensation)

De plus le Pôle a analysé les capacités d’un design catadioptrique pour servir de système d’analyse micro-lithographie à haute ouverture par :

  • Adaptation du design aux contraintes de l’application (ouverture, non immersion, encombrement)
  • Optimisation du système pour améliorer la résolution

Résultats obtenus

La solution obtenue est quasiment dans l’intégralité des spécifications, démontrant la faisabilité d’un tel système (qui n’était pas acquise). Les tolérancements montrent que le système est assez robuste pour être éventuellement produit, imposant malgré tout une étape de ré-optimisation et l’utilisation d’une lame de phase.

Pôle chargé du projet : › Centre d’Expertise Optique & Détection